Anais do Congresso de Iniciação Científica da Unicamp XXIV Congresso de Iniciação Científica da Unicamp

ISSN: 2447-5114

Vol. 2, 2016

DOI http://dx.doi.org/10.19146/pibic-2016

Universidade Estadual de Campinas

ANDRESSA M. ROSA

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Formation and characterization of Amorphous Silicon (a-Si) and Aluminum (Al) thin films for the development of Spacer Lithography Technique
Tecnológicas

LAIS OLIVEIRA DE SOUZA ¹ ; JOSE ALEXANDRE DINIZ ¹ ; ANDRESSA M. ROSA ² ; Jose Alexandre Diniz ²

¹ Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação / UNICAMP ( Universidade Estadual de Campinas ) ;

² Universidade Estadual de Campinas

Amorphous Silicon thin films

Aluminum thin films

Lithography

Vol. 2, 2016 -
51668

Coautores(as) (3)