A simulação de circuitos é uma ferramenta fundamental no desenvolvimento de projetos de circuitos integrados. Pela simulação é possível prever o comportamento dos circuitos e aperfeiçoá-los antes da sua fabricação, reduzindo os ciclos de projeto. Este trabalho tem como objetivo obter a extração de parâmetros de dispositivos MOS planar e 3D, com a maior precisão possível, visando o desenvolvimento de projetos de circuitos integrados.